Schaltungsbezogene Modellierung der Ausbeute und des Ausfallrisikos mikroelektronischer Schaltkreise unter Berücksichtigung defektinduzierter Ausfallmechanismen

Ziel der vorliegenden Arbeit war es, ein Verfahren zu entwickeln, welches es gestattet, für eine Halbleiterherstellungslinie die voraussichtliche Ausbeute an funktionsfähigen und darüber hinaus zuverlässigen Produkten zu modellieren. Zentraler Gegenstand der Untersuchungen war deshalb die Wechselwirkung zwichen stochastisch verteilten Defekten und den Schaltungsstrukturen. Zunächst wurde eine neuartige Methode zur optischen Defektvermessung entwickelt, bei der die reale Defektform berücksichtigt wird. Um die Empfindlichkeit eines Layouts gegenüber Defekten zu beschreiben, wurde das Simulationsprogramm CALYPSO geschaffen. In der Software wird erstmalig eine Kombination bekannter Techniken verwendet, durch die eine beträchtliche Einsparung an Rechenzeit erzielt wird. Mit zwei speziellen Modulen lassen sich erstmals neben ausbeuterelevanten Defekten auch sogenannte latente Defekte und im Layout enthaltene Zuverlässigkeitsrisiken auswerten, die die Lebensdauer von Schaltkreisen verringern können