Grundlegende Untersuchungen zur Eigenspannungsmessung im Mikrometerbereich durch Korrelation magnetischer Prüfgrößen mit experimentell ermittelten Dehnungs- und Spannungsfeldern

Die zunehmende Miniaturisierung von Bauteilen in der Mikromechanik und auch in der Mikroelektronik führt zu einem verstärkten Interesse an Eigenspannungsmessungen mit hoher lateraler Auflösung. Im Rahmen eines DFG-Forschungsvorhabens wurde die Grundlage für eine quantitative Eigenspannungsmeßmethode im Mikrometerbereich erarbeitet, die weniger zeit- und kostenintensiv als die röntgenographische Ermittlung von Mikroeigenspannungen ist. Mit dem Barkhausen- und Wirbelstrommikroskop (BEMI) steht erstmals ein leistungsfähiges Prüfsystem zur Verfügung, das nach entsprechender Kalibrierung zur berührungslosen, ortsaufgelösten Eigenspannungsmessung im µm-Bereich eingesetzt werden kann