Pulvermetallurgische Verfahrensentwicklung für miniaturisierte und mikrostrukturierte Bauteile

Die Mikrosystemtechnik gewinnt in immer mehr Bereichen des Lebens an Bedeutung. Um weitere Produkte zu realisieren, ist es aber notwendig, neben dem Silizium, auch neue Werkstoffe, wie Kunststoffe, Keramiken und Metalle, der Mikrotechnik zugänglich zu machen. Des Weiteren sind für den Erfolg neuer Produkte kostengünstige und sicher beherrschbare Fertigungsverfahren gefragt. Im Rahmen der vorliegenden Arbeit wird die Pulvermetallurgie, ein kostengünstiges Verfahren zur Herstellung makroskopischer metallischer Bauteile, auf ihre Anwendbarkeit zur Fertigung von Kleinstbauteilen untersucht. Die Arbeit beschreibt den Einfluss der extrem feinen Metallpulver, die notwendig sind für die Herstellung von Miniaturbauteilen (Größe 1-2 mm) und Mikrostrukturen. Dabei wird auf die erreichbare Dichte, die Oberflächenqualität, die Maßhaltigkeit und notwendigen Press- bzw. Bindehilfsmittel eingegangen. Unter geeigneten Verfahrensbedingungen konnten Mikrostrukturen von 200 µm Durchmesser mit Details von 10 bis 15 µm realisiert werden. Ein Verfahrenskonzept mit Hinweisen auf eine industrielle Umsetzung schließt die Arbeit ab