Simulation von transienten Szenarien an einem automatisierten Wafertransportsystem

Die Simulation gewinnt als unterstützendes Werkzeug der Planung von automatisierten Wafertransportsystemen zunehmend an Bedeutung. Bisher werden jedoch meist stationäre Simulationsexperimente für Dimensionierungszwecke durchgeführt. Angesichts relativer langer Anlaufzeiten von neuen Halbleiterfabriken und häufiger Technologie- bzw. Produktwechsel, befindet sich die Fertigung und damit die anfallende Systemlast für ein automatisiertes Wafertransportsystem einen großen Zeitanteil in einem instationären (transienten) Zustand. Auf Basis der Simulationsoftware AutoMod wurde ein Simulationsmodell eines Monorail-Wafertransportsystems inklusiver Stocker aufgebaut, welches sich für die Untersuchung von transienter Szenarien eignet. Mit diesem Modell können kritische Elemente des Transportsystems im Produktionsanlauf oder bei zeitveränderlicher Last aufgedeckt werden. Für das Auffinden eines robusten Transportsystemlayouts werden Ramp-Up Experimente und Frequency Domain Experimente (FDE) mit dem Simulator durchgeführt