Für wachstumsstarke Branchen wie die Informations- und Elektronikindustrie werden neue Produkte zunehmend durch Verwendung immer kleinerer und komplexerer Baugruppen realisiert. Diese zeichnen sich in starkem Maße durch hochpräzise Strukturen und kleinste Abmessungen aus. Die Funktionsträger und Prinzipien der Bauteile werden vielfach aus den konventionellen Anwendungen übernommen und in deren Größenverhältnissen herunterskaliert. Die Fertigung solcher skalierter Strukturen ist eine Herausforderung an die Fertigungstechnologie, da sich das Prozesswissen und die Maschinentechnik nicht in gleichem Maße übertragen lassen. Die Herausforderungen können entweder in einer bloßen Verkleinerung der Geometrieabmessungen oder aber in der präzisen Ober...