Tribologisches Verhalten von amorphen Kohlenstoffschichten

Schultrich, B.
Bewilogua, K.

Publication date

January 2006

Abstract

Tribologische Kohlenstoffschichten können mit unterschiedlichen Eigenschaften mit verschiedenen Methoden abgeschieden werden. Da sich Diamantschichten erst um 900 Grad C abscheiden lassen, kommen sie wegen der Kohlenstofflöslichkeit der Stahlsubstrate nicht in Frage. Harte Kohlenstoffschichten lassen sich bei Temperaturen <200 Grad C als amorphe Schichten abscheiden und in den Eigenschaften weit variieren. Durch CVD-Abscheidung entstehen a-C:H-Schichten, durch PVD ta-C-Schichten (ta-C - tetraedrisch gebundener amorpher Kohlenstoff). Bei der Plasmazersetzung von Kohlenwasserstoffen entstehen Schichten mit einem gewissen Wasserstoffgehalt (a-C:H), durch Zumischung weiterer Elemente (Halb- und Nichtmetalle; karbidbildende Metalle) können Benet...

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