Feinstreinigung - nur sauber oder wirklich rein: Möglichkeiten und Grenzen der Plasmafeinstreinigung

Es wird das Einsatzfeld der Plasmafeinstreinigung dargestellt. Zum Einsatz kommen sowohl Niederdruckverfahren, bei denen die Plasmareinigung in einer Unterdruckkammer stattfindet, als auch sogenannte Atmosphärendruckplasmen (Corona Behandlung). Je nach Anwendungsfall kann der Prozeß adaptiert werden. Es wird am Beispiel der Teilereinigung gezeigt, daß der erforderliche Reinheitsgrad auf der Bauteiloberfläche dem bestimmungsgemäßen Einsatz des Werkstücks angepaßt werden sollte, und damit nachfolgende Bearbeitungsschritte nicht beeinflußt werden. Es wird das Grundprinzip der Plasmareinigung dargestellt und deren Einsatzgebiete. Da es sich bei der Plasmafeinstreinigung um einen gasphasengestützten Prozeß handelt, können Partikelverunreinigungen sowie nahezu alle anorganischen Verunreinigungen nicht abgereinigt werden. Liegen jedoch nur dünne organische Kontaminationen vor und werden absolut saubere Oberflächen benötigt, ist die Plasmareinigung ideal geeignet