Inspektion technischer Oberflächen

Unter den Begriff "Reinraumtechnik" fallen alle Techniken, die ein Produktionsumfeld zur Herstellung schmutzempfindlicher Bauelemente ermöglichen. Auf Reinraumtechnik zugreifende Branchen sind z.B. die Halbleitertechnik, Optoelektronik, Mikrotechnik, Medizintechnik, Pharmazie, Luft- und Raumfahrt und zunehmend die Feinmechanik. In allen Bereichen werden Produkte hergestellt, die hochsensibel sind und auf kleinste Veränderungen der Fertigungsverfahren und der Fertigungsumgebung reagieren. Während des Herstellprozesses sind die Funktionsflächen der Produkte neben prozeßbedingten Einflüssen ebenso einer Gefahr der Kontamination aus der Fertigungsumgebung ausgesetzt. Den Oberflächen von Anlagen, Transportmitteln sowie der Bekleidung des Personals kommen dabei tragende Rollen als Quellen und Speicher (Verschleppung) von Kontaminationen zu. Die Tauglichkeit einer Oberflächen für den Einsatz in reinen Bereichen ist bestimmt durch Material und Verarbeitung. Die Materialauswahl hat dabei gleichermassen Anforderungen an Funktion des Bauteils und Beanspruchung der Oberfläche zu berücksichtigen. In Kapitel 2 werden die Anforderungen reiner Fertigungen an Oberflächen sowie eine Vorgehensweise zur Auswahl geeigneter Materialien vorgestellt. Zur schnellen Beurteilung der Reinheit dieser Oberflächen des Fertigungsumfeldes, die indirekt oder unmittelbar Einfluß nehmen auf die Kontamination der Produkte, werden in dieser Ausarbeitung (Kapitel 4) mehrerr einfache Prüfverfahren vorgestellt