Vakuumdichte MEMS-Gehäuse: Leckraten-Testverfahren

Resonant betriebene Inertialsensoren in Mikrosystemtechnik sind durch die Vakuumdichtigkeit des Gehäuses in ihrer Lebensdauer begrenzt.Um zuverlässige Aussagen über die effektive Luftleckrate der Mikrogehäuse treffen zu können, haben Wissenschaftler des Fraunhofer-Instituts für Siliziumtechnologie ISIT einen einzigartigen Neon Ultra-Fine-Lecktest entwickelt. Mit dieser zerstörungsfreien Prüfung lassen sich die potenziellen Ausfallkandidaten bereits auf Waferebene – also noch vor der weiteren Verarbeitung und Auslieferung der Sensoren an die Kunden – ausselektieren