Anwendungsnahe Charakterisierung von ta-C-Schichten

Tetraedrisch gebundener amorpher Kohlenstoff (ta-C) besitzt eine außerordentlich hohe Härte und ist deshalb für den Einsatz von Verschleißschutzschichten von Interesse. Schwierig ist jedoch die anwendungsnahe Charakterisierung der unter industrierelevanten Bedingungen hergestellten Schichten, da in der Forschung eingesetzte Methoden oft ungeeignet und aufwändig sind. Hohes Potenzial zur Bestimmung der wichtigen Kenngröße sp3 Gehalt wird der vis-Raman-Spektroskopie zugesprochen, jedoch fehlen hier bislang allgemeingültige Auswertekonzepte. In dieser Arbeit wurde für ta-C, hergestellt mit zwei verschiedenen gepulsten PVD-Bogenverfahren, das Lorentz/Breit-Wigner-Fano-Modell auf Eignung überprüft und mit veröffentlichten Ergebnissen verglichen. Weiterhin wurden Methoden zur Messung der Rauheit mittels Tastschnittverfahren und Konfokalmikroskopie sowie zur Messung der Schichtdicke mittels Kalottenschliff und Stufenverfahren bewertet und deren Grenzen und Bedingungen zur Anwendung auf ta-C-Schichten aufgezeigt