Vorrichtung und Verfahren zum prozessgasbegleiteten Bearbeiten von Werkstücken mit energetischer Strahlung

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Bearbeiten von Werkstücken mit energetischer Strahlung, bei der ein energetischer Strahl durch eine Düsenanordnung hindurch geführt und gemeinsam mit einem Prozessgas auf ein Werkstück gerichtet werden kann, mit einem Mittel zum Auslenken des energetischen Strahls, wodurch der Bearbeitungspunkt auf dem Werkstück zweidimensional verschoben werden kann, wobei die Düsenanordnung ein erstes und ein zweites Düsenelement aufweist und das zweite Düsenelement einen Düsenkopf umfasst, und wobei das erste und/oder das zweite Düsenelement rotierbar angeordnet ist/sind, und darüber hinaus das erste und das zweite Düsenelement so ausgebildet sind, dass der Düsenkopf durch eine abhängig von der Auslenkung des energetischen Strahls gewählten Rotation des ersten und/oder des zweiten Düsenelements so verkippt werden kann,; dass der energetische Strahl die Düsenkopfaustrittsöffnung durchläuft