Anforderungsprofil geringster Emissionen aus Werkstoffen: Vortrag gehalten auf der Lounges 2012, Vision Pharma 2012, 28. Februar bis 1. März 2012, Karlsruhe

Der Grad partikulärer und molekularer Emissionen aus Materialien entscheidet über deren Eignung für reinheitskritische Prozesse unter Reinraumbedingungen. Werden Materialpaarungen tribologisch belastet, entsteht Partikelabrieb, welcher zu einem beträchtlichen Teil in die Umgebungsluft abgegeben wird. Unter Vakuumbedingungen können sich Partikelemissionen bei tribologischer Belastung deutlich von ermittelten Werten unter Atmosphärendruck unterscheiden. Aus fast allen Materialien gasen molekulare Verbindungen in die Umgebungsluft aus. Es gilt, diese Kontaminationsquellen der eingesetzten Materialien qualitativ als auch quantitativ zu erfassen. Der Vortrag skizziert die in der Richtlinie VDI 2083 Blatt 17 standardisierte Vorgehensweise von Materialtests für reinraumtaugliche Materialien für partikuläre und molekulare Emissionen. Zusätzlich zeigt der Vortrag eine am Fraunhofer IPA entwickelte Methodik zur Messung von Partikelemissionen unter Hochvakuumbedingungen auf