Verfahren zum Herstellen eines kapazitiven Ultraschallwandlers und Anordnung einer Mehrzahl von kapazitiven Ultraschallwandlern

DE102013223695A1 [DE] Ein Verfahren zum Herstellen eines kapazitiven Ultraschallwandlers umfasst ein Bereitstellen eines Substrats mit einer ersten Elektrodenschicht und einer Oberflaeche, in der eine Ausnehmung gebildet ist, ein Fuellen der Ausnehmung mit einem Opfermaterial, ein Aufbringen einer zweiten Elektrodenschicht auf die Oberflaeche inklusive dem Opfermaterial, so dass sich die erste und die zweite Elektrodenschicht ueber das Opfermaterial gegenueberliegen und ein Entfernen des Opfermaterials unter Verwendung einer oeffnung. Hierbei wird das Aufbringen der zweiten Elektrodenschicht so durchgefuehrt, dass sich eine mechanische Spannung in der zweiten Elektrodenschicht ausbildet, so dass sich nach dem Entfernen des Opfermaterials ein Abschnitt der zweiten Elektrodenschicht in Richtung des Substrats bewegt und an das Substrat oder an eine Zwischenschicht angrenzt, so dass ein kollabierter Zustand des kapazitiven Ultraschallwandlers erhalten wird