Zerstörungsfreie Analyse: Schichtdicken von Mehrschichtsystemen online messen

Die Dicke von Schichten auf nichtmetallischen Substraten wird meist zerstörend gemessen. Terahertz-Wellen, die im Spektrum zwischen Infrarotlicht und Mikrowellen liegen, sind oft die bessere Lösung. Misst man die Laufzeitunterschiede der reflektierten Teilwellen, lässt sich daraus die Schichtdicke zerstörungsfrei bestimmen – vor allem bei Mehrschichtsystemen