Modeling and simulation of the planar multipole resonance probe

Die aktive Plasmaresonanzspektroskopie (APRS) ist eine etablierte Plasmadiagnosemethode, die sich die Fähigkeit des Plasmas zunutze macht, bei oder nahe der Elektronenplasmafrequenz zu schwingen. In den letzten zehn Jahren wurde eine optimierte APRS-Sonde, die planare Multipolresonanzsonde (pMRP), vorgeschlagen. Ziel dieser Dissertation ist es, das spektrale Verhalten der idealisierten pMRP mit Hilfe von mathematischen Modellen zu untersuchen. Zu diesem Zweck werden das Drude-Modell, das kollisionsfreie kinetische Modell und das kollisionskinetische Modell entwickelt. Neben der idealisierten pMRP sind diese drei in dieser Dissertation vorgeschlagenen Modelle vielversprechend für die Anwendung auf andere APRS-Sonden des planaren Typs