La presente invenzione si riferisce ad una nuova struttura di accelerometro risonante di tipo MEMS in grado di misurare accelerazioni nel piano. Il dispositivo può essere ottenuto mediante la tecnologia esistente del “surface micromaching” e può essere pertanto facilmente industrializzabile. Il design meccanico è totalmente nuovo: in particolare la presenza di due risonatori soggetti ad azione assiale di segno opposto per assegnata accelerazione esterna permette la lettura del dispositivo anche in presenza di uno stato di coazione generato ad esempio da una variazione termica ed aumenta la sensitività dell’accelerometro. Questo elemento meccanico, abbinato ad un opportuno circuito elettronico, permette la realizzazione di accelerometri di...
Nel presente lavoro si indaga, con particolare riguardo alle indicazioni della normativa ...
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La presente invenzione si riferisce ad una struttura di accelerometro risonante di tipo MEMS in grad...
La presente invenzione si riferisce ad una nuova struttura di accelerometro risonante di tipo MEMS i...
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La presente invenzione si riferisce ad una struttura di accelerometro risonante di tipo MEMS in grad...
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La presente invenzione si riferisce ad una struttura di accelerometro risonante di tipo MEMS in grad...
Gli accelerometri di tipo piezoelettrico sono probabilmente i più diffusi sensori diaccelerazione at...
Gli accelerometri di tipo piezoelettrico sono probabilmente i pi\uf9 diffusi sensori diaccelerazione...
Una struttura micromeccanica (1), per un accelerometro capacitivo triassiale MEMS (32), è dotata di:...
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Nel presente lavoro si indaga, con particolare riguardo alle indicazioni della normativa ...
Nel presente lavoro si indaga, con particolare riguardo alle indicazioni della normativa ...
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La presente invenzione si riferisce ad una nuova struttura di accelerometro risonante di tipo MEMS i...
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La presente invenzione si riferisce ad una struttura di accelerometro risonante di tipo MEMS in grad...
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Gli accelerometri di tipo piezoelettrico sono probabilmente i più diffusi sensori diaccelerazione at...
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Una struttura micromeccanica (1), per un accelerometro capacitivo triassiale MEMS (32), è dotata di:...
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Nel presente lavoro si indaga, con particolare riguardo alle indicazioni della normativa ...
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