PENGARUH KECEPATAN PUTAR SPIN COATING TERHADAP PERFORMANSI SENSOR PH BERBAHAN DASAR TITANIUM DIOKSIDA (TiO2)

Deposisi thick film TiO2:AgCl pada substrat alumina dengan metode spin coating untuk aplikasi sensor pH telah dilakukan. Bagian sensor pH dalam penelitian ini adalah elektroda dan daerah sensing, dengan bahan yang digunakan untuk elektroda adalah AgCl sedangkan bahan untuk daerah sensing adalah TiO2. Pasta AgCl dan TiO2 masing-masing diperoleh dari pencampuran larutan binder (PVA) dengan serbuk AgCl dan TiO2 yang diaduk dengan magnetic stirrer agar menghasilkan pasta yang homogen. Bahan AgCl dilapiskan pada substrat alumina dengan variasi kecepatan putar spin coating 300 rpm, 500 rpm, 700 rpm, 1000 rpm, 1500 rpm, sedangkan bahan TiO2 dilapiskan pada substrat alumina dengan kecepatan putar spin coating 300 rpm. Berdasarkan hasil pengujian tegangan sensor menunjukkan bahwa kecepatan putar spin coating berpengaruh terhadap tegangan output. Hasil pengujian repeatability sensor menunjukkan bahwa penggunaan sensor secara berulang-ulang mengakibatkan performa sensor semakin menurun. Hal ini membuktikan bahwa bahan yang digunakan membuat sensor tidak efektif untuk sensor yang reusable. Hasil pengujian sensitivitas dari sensor 1000 rpm dan 1500 rpm, menunjukkan bahwa sensitivitas sensor terbaik adalah sensor 1000 rpm sebesar . Hasil perhitungan linearitas sensor, menunjukkan sensor yang memiliki linearitas terbaik adalah sensor 1500 rpm sebesar 24% FS. Pada analisis perhitungan error menunjukkan bahwa sensor pH yang memiliki uncertainly (ketidakpastian) paling baik (kecil) adalah sensor 1500 rpm yaitu sebesar 0,5484 %. Kata kunci : Sensor pH, Spin Coating, TiO2, AgCl, Repeatability, Kecepatan Putar