Resistencia a la corrosión de recubrimientos a base de titanio y circonio producidos por magnetrón Sputtering DC

Titanium nitride (TiN and TiN/Ti) and titanium zirconium nitride (TiZrN)thin films were deposited on AISI 304 and 316L stainless steels, using DC Magne-tron Sputtering, to evaluate the superficial, mechanical and corrosion resistanceproperties. X Ray Diffraction (XRD) structural analysis performed showed thatin all studied systems had f.c.c crystalline structure, with (111) bragg planepreferential orientation. The TiZrN coating shows compressive stress by theinclusion of Zr atoms in the structure of TiN and peak widening is observeddue to the presence on the film of TiN. Superficial characteristics obtained byprofilometry (roughness (Ra) and thickness) shows Ra values below 100 nm,typical of thin films obtained by this technique. The thickness obtained rangesfrom 364,50 to 580,25 nm.Using nanoindentation, hardness values TiN, TiN/Ti and TiZrN of 16,173,18,524 and 17,307 Gpa were obtained for thin films respectively. Corrosion resistance evaluation (Tafel Polarization), shows a decreasein corrosion speed of steel when the surface is protectedby a coating, fact which was determined by the reductionof the corrosion rate.Se depositaron recubrimientos de nitruro de titanio (TiN y TiN/Ti) y nitrurode titanio circonio (TiZrN) sobre aceros AISI 304 y 316L por medio de la técnicamagnetrón Sputtering DC para evaluar sus propiedades superficiales y mecánicas, así como la resistencia a la corrosión. El análisis estructural realizado por mediode difracción de rayos X (XRD) mostró que todos los materiales estudiados cris-talizaron en una estructura f.c.c, con orientación preferencial en plano de Bragg (111); el recubrimiento de TiZrN, muestra estrés a la compresión por la inclusiónde átomos de Zr en la estructura del TiN y se observa ensanchamiento en lospicos de difracción debido a la presencia de TiN en la película. Las características superficiales medidas por perfilometría (rugosidad Ra y espesor) muestranvalores de Ra inferiores a 100 nm, típicos de capas delgadas sintetizadas por estemétodo. Los espesores obtenidos varían desde 364,50 nm hasta 580,25 nm. Usandonanoindentación se obtuvieron valores de dureza de capa de TiN, TiN/Ti y TiZrN de 16, 173, 18, 524 y 17, 307 Gpa respectivamente; la evaluación de la resistencia ala corrosión (polarización tafel) muestra que la velocidad de corrosión del acerodisminuye cuando la superficie es protegida con un recubrimiento, hecho que sedeterminó por la reducción de la tasa de corrosión