Reaktív plazmaporlasztási folyamat automatizálása

A különféle vékonyréteg-bevonatok előállítására alkalmazott reaktív magnetronos plazmaporlasztási eljárás rendkívül instabil folyamat, amely szükségessé teszi a szabályozást. A dolgozat célja egy sajátos többszintű hierarchikus irányítási rendszer felépítésének ismertetése, amely nagymértékben hozzájárul a porlasztási folyamat valamennyi paraméterének a méréséhez, feldolgozásához, tárolásához és szabályozásához. A dolgozat hangsúlyosan tárgyalja a digitális kommunikációs protokollt és az osztott rendszer elemeinek szinkronizálására javasolt eljárást