Commande robuste d'une pince microfabriquée à actionnement électrostatique.

International audienceL'élaboration des lois de commande pour les MEMS se heurte à de nombreuses difficultés liées à la forte miniaturisation. Ces systèmes sont très sensibles aux conditions envrionnementales (températeur, humidité, etc...) ainsi qu'aux perturbations. Les rapports signal/bruit sont très défavorables en raison des très faibles amplitudes des signaux utiles. L'intégration de capteurs est rendue difficile par une accessibilité souvent limitée ou par l'inexistence de capteurs de faibles dimensions. Tous ces éléments font que les MEMS constituent un champ exploratoire et applicatif nouveau pour l'automatique. Dans cet article, nous présentons la synthèse d'une loi de commande robuste fondée sur la méthode H pour l'asservissement de la position de l'extrémité d'une pince microfabriquée sur un substrat de silicium. L'incertitude de modélisation ainsi que l'effet du bruit de mesure ont été pris en compte lors de la synthèse