Mesure de température par une méthode de thermoréflectance multispectrale

International audienceL’objectif final de ce travail est de produire une cartographie des températures d’ un composant ou d’ un circuit microélectronique avec la meilleure précision possible en régime permanent puis en régime transitoire. Le banc de thermoréflectance utilisé [1] produit une image multispectrale pour établir la température en chaque pixel via le coefficient de thermoréflexion. Ce travail porte sur l’analyse de la distribution spectrale des pixels afin d’identifier la cartographie des matériaux et donc le coefficient thermique à associer à chaque pixel. Cette analyse s’appuie la pseudo-divergence de Kullback- Leibler et illustre l’approche proposée par un exemple