PENGARUH VARIASI KONSENTRASI DOPING AI TERHADAP KARAKTERISTIK LAPISAN TIPIS ZOO:AI YANG DIDEPOSISI DENGAN TEKNIK SPIN COATING

Karakteristik lapisan upis Seng Oksida doping Aluminium (ZnO:AI) yang ditumbuhkan dengan metode spin coaling telah diteliti. Larutan ZnO:AI dibuat dengan melarutkan zinc asetai (ZnAc) dan AlCl3 dalam pelarut etanol absolute dan dietilene glikol. Lapisan tipis ZnO:Al ditumbuhkan dengan cara meneteskan larutan ZnO:A1 diatas substrat berupa kaca preparat (2 x 2) cm yang ditempatkan diatas spinner dan diputar selama I menit Konsentrasi AI divariasikan dari 0% sampai 20 %. Kecepatan putaran spinner 3300 rpm. Lapisan yang terbentuk selanjutnya dianealing pada temperatur 6000C. Lapisan tipis ZnO:AI yang terbentuk dikarakterisasi menggunakan Spektroscopi Ultraviolet Visible (UV-Vis), dan Atomic Force Microscope (AFM). Hasil penelitian menunjukkan bahwa lapisan LnO:AJ yang ditumbuhkan memiliki nilai transmitansi optik yang cukup tinggi pada konsentrasi AlCl3 15%, sebesar 56% pada panjang gelombang 370 nm. Celah pita optik tertinggi diperoleh sebesar 3,67 eV pada konsentrasi 15%. Analisa morfologi dan tekstur permukaan lapisan tipis ZnO:AI menunjukkan bahwa lapisan yang berkonsentrasi AlCl3 20% memiliki tekstur dan tingkat kerataan permukaan yang paling baik, dengan nilai kekasaran permukaan rata-rata 3,2 um.Kata kunci : Lapisan tipis ZnOAI, Spin Cooling, Transmitansi optik, Morfologi permukaan,Celah pita optik