Conception et réalisation d'un filtre supraconducteur accordable en technologie MEMS

National audienceDeux filtres passe bande 2 pôles supraconducteurs accordables intégrant des MEMS sont présentés dans cet article. Il possède un accord fréquentiel de 42 % entre 4 et 7 GHz et de 31% entre 6 et 8,75 GHz, et offrent un facteur de qualité à vide Q0 de 7500 (en considérant des capacités variables MEMS sans pertes). Les couplages d'entrée-sortie sont contrôlés pour minimiser la variation du coefficient de qualité extérieur Qext