Développement d'un pré-concentrateur miniaturisé en technologie silicium pour la détection de substances chimiques à l'état de traces

International audienceL'objectif principal de cette étude est le développement d'un dispositif de pré-concentration basé sur une technologie de microréacteur en silicium. Les applications visées concernent les systèmes miniaturisés de détection de traces gazeuses, soit en pollution atmosphérique, soit pour la détection d'explosifs. Pour cela, une poudre de carbone est utilisée comme matériau adsorbent, et les dispositifs ont été testés sous benzène. Les composants sont constitués de micro-canaux en silicium obtenus par gravures DRIE. Ils sont équipés de capillaires métalliques et d'un micro-chauffage. Une partie de l'étude porte sur le dépôt par méthode fluidique de la poudre de carbone dans les micro-canaux. Un intérêt particulier de l'étude concerne l'utilisation de silicium poreux pour augmenter la quantité de carbone déposé. Les tests de faisabilité sous benzène permettent de vérifier l'effet de pré-concentration recherché