Enlèvement de particules par laser impulsionnel

National audienceL'enlèvement de particules par laser impulsionnel (ns) est étudié expérimentalement. Des efficacités supérieures à 90% sont obtenues pour l'enlèvement de particules de polystyrene (PS) de diamètre 385 nm sur des surfaces de Si et Cu. Les fluences seuils d'enlèvement sont déterminées et comparées à une modélisation de l'expansion thermique du substrat. L'interprétation est discutée en terme de mécanismes fondamentaux envisageables responsables de l'éjection des particules