Penumbuhan Nanopartikel Ce-doped ZnO pada Interdigitated Electrode Arrays untuk Aplikasi Sensor Gas CO

Telah dibuat nanopartikel Ce-doped ZnO pada Interdigitated Electrode Arrays untuk aplikasi sensor gas CO. Nanopartikel ZnO yang telah dapat berfungsi sebagai sensor gas CO akan ditingkatkan sensitivitasnya dengan menambahkan doping Ce. Pada penelitian ini dilakukan variasi doping Ce sebesar 1%, 2%, 3%, 4%, dan 5% serta variasi suhu operasi yaitu 150 ⁰C – 250 ⁰C dengan kenaikan suhu 10 ⁰C. Metode yang digunakan adalah dip-coating dengan mencelupkan substrat Interdigitated Electrode Arrays pada larutan prekursor Zn(CH3COO)2.2H2O. Pengujian yang dilakukan adalah pengukuran kurva I-V sehingga diperoleh Richardson Plot, pengujian SEM-EDX, XRD, dan pengujian respon gas. Diperoleh hasil bahwa suhu operasi berpengaruh terhadap karakteristik listrik bahan, ditunjukkan dengan kurva I-V dimana semakin besar tegangan nilai arus juga meningkat. Semakin besar nilai suhu operasi, nilai arus pada setiap titik juga meningkat pada nilai tegangan yang sama. Berdasarkan Richardson Plot, doping tidak berpengaruh secara signifikan terhadap nilai arus yang dihasilkan. Doping Ce berpengaruh terhadap sensitivitas nanopartikel ZnO sebagai sensor. Nilai sensitivitas tertinggi terdapat pada nanopartikel ZnO dengan doping Ce 3% pada tegangan sumber 5 Volt dengan nilai sensitivitas 3,93 atau 74,56%. ================================================================================================ Ce-doped ZnO nanoparticles were made on Interdigitated Electrode Arrays for CO gas sensor applications. ZnO nanoparticles that have been able to sense CO gas, their sensitivity can be increased by Ce doping. In this study, Ce dopings between 1% and 5% and operating temperatures ranging from 150 ⁰C - 250 ⁰C with increment of 10 ⁰C were carried out. The method used is dip-coating, namely by dipping the Interdigitated Electrode Arrays substrate into the Zn(CH3COO)2.2H2O precursor solution. The tests undertaken in this study were I-V curve measurement for obtaining Richardson Plots, SEM-EDX, XRD, and gas response testing. The results show that the operating temperature affects the electrical characteristics of the material, indicated by the I-V curve where the greater the voltage, the value of the current is also increased. The greater the value of the operating temperature, the value of the current at each point is also increased at the same voltage value. Based on the Richardson Plot, doping does not significantly affect the value of the current generated. Addition of Ce doping influenced the sensitivity of ZnO nanoparticles as sensors. The highest sensitivity value was found on ZnO nanoparticles with 3% Ce doping at 5 Volt source voltage with a sensitivity value of 3.93 or 74.56%