The use of LFSB roughness standards in nano field

Radom je dan uvid u 2D i 3D sustav ispitivanja hrapavosti površina, u mjerne zahtjeve u mikro i nano mjeriteljstvu, te metodologije izrade etalona. Osim toga dane su značajke etalona za umjeravanje uređaja s ticalom sukladno zahtjevima norme ISO 5436–1:2000. U nastavku rada dan je pregled danas dostupnih etalona u podrčju dimenzionalnog mikro i nanomjeriteljstva, te su isti popraćeni i dodatnim pojašnjenjima. Nadalje, navedeni su i opisani uređaji za ispitivanje teksture površina, a za iju provjeru točnosti i podešavanje se koriste ovdje navedeni etaloni. Takoder, izvren je uvid u mjeriteljske sposobnosti nacionalnih mjeriteljskih instituta u svijetu pri cemu je utvrdeno da su etaloni hrapavosti LFSB – a jo uvijek aktualni svojim mjeriteljskim znaajkama. U nastavku rada, temeljem informacija o znaajkama etalona u podruju mikro i nanomjeriteljstva dan je i pregled materijala koji se danas koriste za izradu zahtijevanih struktura etalona. Ujedno, uzeta su u obzir saznanja o materijalima koji se koriste za izradu struktura etalona te njihovih prevlaka. Imajui u vidu prethodno navedeno, a s obzirom na problem osiguravanja uvjeta obnovljivosti rezultata mjerenja dubine brazde na LFSB-ovim etalonima, u radu je predloženo da se dio površine etalona prevuče sa 100 nm kroma. Krom je odabran zbog svojih mehanikih, optičkih i električnih svojstava koje ga ine pogodnim za provedbu mjerenja koristeći različite mjerne metode. U radu su prikazani rezultati ispitivanja svojstava tanke prevlake kroma koristeći elektroniko-mehaniki uređaj s ticalom, interferometrijski mikroskop i pretrani elektronski mikroskop