Doctor본 논문은 생의학 응용을 위한 마이크로웨이브 플라즈마 시스템의 전력 효율을 개선하기 위해 두가지 방법을 제시한다. 첫 번째 방법은 플라즈마 발생장치에 전력을 공급하는 마이크로웨이브 전력 모듈을 개선하는 것이다. 마이크로웨이브 플라즈마를 발생시키기 위해 공진주파수 추적 기능과 출력 전력 안정화 기능이 포함된 손바닥 크기의 전력 공급 모듈이 제안되었다. 플라즈마 발생장치로는 2.4 GHz 공진주파수를 가지는 coaxial transmission line resonator를 사용하였다. 전력 모듈의 출력 주파수 범위는 2.3에서 2.5 GHz이고 출력 전력은 최대 24 W이다. 전력 모듈은 출력 주파수를 상황에 맞게 자동으로 설정하기 때문에 플라즈마 발생에 따른 공진주파수 변화를 감지하여 공진기에 입사되는 전력이 반사되는 것을 최소화한다. 입사 전력이 2 W 일 때, 플라즈마 발생에 따른 공진주파수 변화는 41 MHz이다. 제안된 공진주파수 자동 추적 기능으로 전력 전달 효율이 56에서 88 %로 개선되었다. 게다가, 생의학 분야에서 중요한 활성종 중에 하나인 ·OH 활성종의 생성이 같은 2 W 전력에서 33 % 증가하였다. 출력 전력 안정화 기능은 생의학 분야에서 안전성을 나타내는 중요한 지표인 플라즈마 가스 온도를 측정하여 확인하였다. 피드백 루프 제어를 통해 전력 모듈은 1 W의 출력을 안정적으로 발생하였고 플라즈마 가스 온도를 300초 동안 40℃로 일정하게 유지하였다. 두번째 방법은 공진기 구조를 가...