PENGARUH VARIASI WAKTU PENAHANAN TERHADAP KARAKTERISTIK LAPISAN TIPIS ZNO: AI YANG DIDEPOSISI DENGAN TEKNIK SPIN COATING

Karakteristik lapisan tipis seng ok.sida dan Aluminium (ZnO:AI) yang dideposisi dengan teknik spin coating dan di-annealing dengan waktu penahanan yang bervariasi telah diteliti. Penelitian ini bertujuan untuk mengetahui pengaruh variasi waktu penahanan terhadap karakteristik lapisan tipis ZnO:AI. Lapisan tipis ZnO:Al dideposisi di atas substrat kaca preparat (2 cm x 2 cm) menggunakan serbuk zinc asetat (ZnAc) sebagai prekursor yang dilarutkan dalam etanol absolut dan dietilene glikol (DEG). Lapisan tipis ZnO:Al yang terdeposisi di-annealing pada temperatur500C dengan waktu penahanan yang bervariasi yaitu I0 menit, 20 menit, 30 menit,40 menit, dan 50 menit. Untuk mengetahui karakteristik lapisan tipis ZnO:Al dilakukan karakterisasi menggunakan Atomic Force Microscope (AFM), X-Ray Difraction (XRD), dan Spektrometer UV-Vis. Hasil analisis AFM menunjukkan bahwa morfologi permukaan lapisan tipis ZnO:AI mengalami perbaikan dengan meningkatnya waktu penahanan. Analisis terhadap hasi XRD memperlihatkan bahwa semua sampel lapisan tipis ZnO:AI mempunyai puncak. difraksi tertinggi padabidang kristal (hkl) 002 dengan sudut difraksi 20 = 34. Analisis spektrum UV-Vismemperlihatkan bahwa daerah respon optik pada semua lapisan lipis ZnO:AI terjadi pada rentang panjang gelombang yang berbeda-beda sehingga nilai transmitansi yang dihasilkan juga berbeda.Kata kunci : lapisan tipis ZnO:AI, spin coating, dan waktu penahanan