STUDI PENUMBUHAN LAPISAN TIPIS SENG OKSIDA (ZNO) DENGAN METODE SPIN COATING

Karakteristik lapisan tipis Seng Oksida (ZnO) yang tumbuhkan dengan metode spin coaling telah diteliti. Lapisan ZnO ditumbuhkan dengan cara meneteskan larutan ZnO diatas substrat berupa kaca benda mikroskop (1,3 cm x 1,5 cm) yang ditempatkan di atas spinner dan diputar selama 60 detik. Kecepatan putaran spinner divariasikan dari 1620 - 3120 rpm. Lapisan yang terbentuk selanjutnya dianealingpada temperatur yang bervariasi dari 300 - 700 C. Lapisan tipis ZnO yang terbentukdikarakterisasi menggunakan spektroskopi Ultraviolet Visible (UV-Vis), dan AtomicForce Microscope (AFM). Hasil penelitian menunjukkan bahwa lapisan ZnO yang ditumbuhkan memiliki nilai transmitansi optik yang culrup tinggi, mencapai 98 % pada rentang panjang gelombang antara 300 -- 400 nm. Analisa morfologi dan teksturpermukaan lapisan ZnO menunjukkan bahwa lapisan yang d.ianealing pada temperatur 700 C memiliki tekstur dan tingkat kerataan permukaan paling baik,dengan ni1ai kekasaran permukaan rata-rata 0,0036 um.Kata kunci : Lapisan tipis ZnO, spin coating, transmitansi optik, kakasaran permukaan