Filmes de carbeto de silício, SiC, cristalinos foram depositados sobre peças de mulita por meio da técnica de deposição química por vapor (CVD) a pressão atmosférica. As características da superfície do substrato determinam se o filme será denso ou poroso, enquanto a temperatura define a cristalinidade e a taxa de nucleação para formação do filme. Durante os procedimentos de preparação do substrato de mulita para a deposição do filme, observou-se o fenômeno da formação de whiskers de mulita quando adicionados 3%mol de terras raras a peça. O fenômeno de crescimento destes whiskers foi sistematicamente estudado para sua caracterização e compreensão do mecanismo de formação. A adição de terras raras promoveu um abaixamento na temperatura de mu...
NOVELTY - A silicon carbide coating comprises a sequence of individual silicon carbide layers and la...
International audienceIn the CH3SiCl3-H2 CVD system, from which SiC-based films are prepared, the su...
Silicon carbide was prepared from SiCl4-CH4-H-2 gaseous precursors by isothermal, isobaric chemical ...
Filmes de carbeto de silício, SiC, cristalinos foram depositados sobre peças de mulita por meio da t...
O carbeto de silício (SiC) é um material que apresenta baixa expansão térmica, altas resistências me...
Na presente Dissertação, foram caracterizadas as estruturas dos filmes dielétricos (dióxido de silíc...
Neste trabalho, analisamos as propriedades químicas, morfológicas e estruturais de filmes finos de c...
Neste trabalho, foi investigado um material semicondutor usado como substituto para o silício (Si) e...
Esta dissertação teve como principal objetivo, estudar o efeito da adição de carbeto de silício (SiC...
The chemical vapor deposition (CVD) of ceramics based on this silicon carbide (SiC) from the CH₃SiCl...
SiC based ceramics have been identified as the leading candidate materials for elevated temperature ...
O carbeto de silício (SiC) é um semicondutor com propriedades adequadas para substituir o silício em...
Neste trabalho é estudada a viabilidade de produção de dispositivos eletrônicos baseados em filmes s...
Silicon carbide (SiC) is a material with excellent properties for micro systems applications. In thi...
Crystalline mullite coatings have been chemically vapor deposited onto SiC substrates to enhance the...
NOVELTY - A silicon carbide coating comprises a sequence of individual silicon carbide layers and la...
International audienceIn the CH3SiCl3-H2 CVD system, from which SiC-based films are prepared, the su...
Silicon carbide was prepared from SiCl4-CH4-H-2 gaseous precursors by isothermal, isobaric chemical ...
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