Термическая стабильность структуры и оптических свойств наноструктурированных пленок TiO2

Изучены структура и оптические свойства пленок диоксида титана при отжиге в диапазоне от 100 до 400 °С, полученных методом ионно-плазменного высокочастотного магнетронного распыления мишени из поликристаллического рутила в атмосфере аргона. Показано, что свежеприготовленные пленки TiO2 являются наноструктурированными с размерами кристаллитов рутила ~ 8 нм и межплоскостным расстоянием ~ 3.3 Å и содержат небольшую долю анатаза. Оптическая ширина запрещенной зоны пленок составляет 3.01 эВ, показатель преломления при нормальных условиях равен 2.25. Отжиг пленок при температурах от 100 до 400 °С практически не изменяет их структуру, оптическую ширину запрещенной зоны и значение показателя преломления при нормальных условиях, что свидетельствует о термической стабильности полученных наноструктурированных пленок TiO2