MİKRO OLUKLU ISI BORUSU ÜRETİMİ İÇİN FARKLI MİKRO ÜRETİM YÖNTEMLERİNİN İRDELENMESİ

MEMS ve elektronik teknolojisinde yaşanan gelişmeler sonucunda başta savunma sanayi olmak üzere birçok farklı uygulamada elektronik yapıların güvenli bir şekilde çalışabilmesi için çok küçük alanlardan çok yüksek miktarda ısının çekilmesi gerekmektedir. Bu amaca yönelik olarak faz değişimi ısı transferi mekanizmalarının kullanılması avantaj sağlamaktadır. Bu noktada hem yüksek akıda ısı transferinin daha az sıcaklık farkı ile gerçekleştirme kabiliyetleri hem de hareket edenparçalarının olmaması ve güvenilirliklerinin yüksek olmasından dolayı ısı borularının kullanım alanları genişlemekte ve havacılık gibi lider endüstrilerde elektronik ekipmanların soğutulmasında sıklıkla kullanılmaktadır. Bu çalışmada Silikon devre levhasıüzerinde mikro-oluklu ısı borusu uygulamasına yönelik farklı mikro-üretim tekniklerinin değerlendirmesi yapılmıştır. Mikro-olukların açılmasına yönelik kimyasal aşındırma, minyatür-işleme ve mekanik kesme yöntemleri kullanılmıştır. Üretim için Bilkent Üniversitesi Ulusal Nanoteknoloji Araştırma Merkezi ve Bilkent Üniversitesi Mikro sistem Tasarım ve Üretim Merkezi imkanları kullanılmıştır. Bu yöntemlerin avantajları ve dezavantajları tartışılmıştırFollowing the developments in MEMS and electronics technology, high heat removal from a small surface area is required forthe safe operation of electronic components in different applications especially in defense industry. In this respect, phase-change heat transfer offers an advantage. Considering the high heat flux occurring at relatively low temperature difference and lack of moving components together with high reliability, heat pipe technology has extended its application area, and being used for the electronic cooling in leading industries such as aviation. In this study, different fabrication techniques have been discussed for the fabrication of a silicon, micro-grooved heat pipe. For the fabrication of micro-grooves chemical etching, micro-machining and mechanical cutting techniques have been used. For the fabrication, facilities of Bilkent University National Nanotechnology Research Center and Bilkent University Micro System Design and Manufacturing Center have been utilized. Advantages and disadvantages of different techniques have been discusse