Siralanmis MEMS iletim hatlari icin yeni bir model

Bu bildiride, yüksek empedanslı eşdüzlemsel dalga kılavuzunun (EDK) periyodik olarak MEMS köprülerle yüklendiği sıralanmış MEMS iletim hattları (SMİH) için yeni bir model ve bu modelin parametrik çalışması sunulmuştur. Bu modelde, MEMS köprüler ayrık CLR devre elemanları yerine düşük empedanslı iletim hatlarıyla temsil edilmiştir. Bu modelde de yüklenmemiş kısımlar yine yüksek empedanslı iletim hatlarıyla modellenirken, köprü kısmına geçişlerde akım ve alandaki süreksizlikleri modellemek amacıyla LC devreleri kullanılmıştır. Modelin doğruluğu farklı SMİH yapıları üzerindeki benzetim ve cam taban üstüne elektrokaplama teknolojisine dayanan RF MEMS üretim süreci sonucunda elde edilen ölçümlerle gösterilmiştir