Anten Uygulamalari için Yeni MEMS Anahtar Yapiları

Bu bildiride Mikro Elektro Mekanik Sistemler (MEMS) teknolojisi kullanılarak üretilmiş iki RF anahtar sunulmaktadır. Bu anahtarlar özellikle fazla sayıda anahtar gerektiren MEMS faz kaydırıcı ve faz dizili anten gibi uygulamalara yönelik tasarlanmışlardır. Yapılardan birincisi eşdüzlemli dalga kılavuzu üzerinde paralel anahtarlama yapan “T-kanatlı” anahtardır ve yapılan benzetimlerle araya sokma yitimi, 10 GHz frekansında -0.035 dB, yalıtımı ise -33 dB olarak belirlenmiştir. Diğer yapı eşdüzlemli dalga kılavuzunun canlı hattı üstünde çalışan seri anahtar olarak tasarlanmıştır. Benzetim sonuçlarına göre bu yapının 10 GHz frekansında araya sokma yitimi -0.015 dB, yalıtımı ise -20 dB olarak belirlenmiştir. Yapılar MEMS ve mikroişleme teknolojisi ile cam tabanlar üzerinde üretilmiştir