Elektronik soğutma için cmos uyumlu mikrokanal ısı alıcısı ve üretim yöntemi

Bu buluş elektronik soğutma uygulamaları için kullanılabilecek bir CMOS uyumlu metal-polimer mikrokanallı ısı alıcısıdır. Isı alıcı, standart yüzey mikroişleme teknikleri kullanılarak, direk olarak elektronik devrenin yalıtılmış üst yüzeyi üzerinde üretilmektedir. Isı alıcı devre üzerindeki ince yalıtkan tabaka, bu tabaka üzerindeki kanal alt yüzeyi oluşturan ince metal tabaka, metal yan duvarlar, polimer üst duvardan ve giriş-çıkış rezervuarlarından oluşmaktadır