Boşluk üzerinde silisyum yapısının metal yardımlı aşındırma ve tavlama ile üretilmesi

Önerilen disiplinler arası bilimsel araştırma projesinin amacı yeni bir ince-film silisyum üretim yöntemi vasıtasıyla farklı fotonik aygıtların ve fotovoltaik sistemlerin iyileştirilmesini sağlamaktır. Proje çerçevesinde ODTÜ Güneş Enerjisi Araştırma ve Uygulama Merkezinde metal yardımlı kimyasal aşındırma ve termal buharlaştırma ile birlikte metal yardımlı aşındırma yöntemleri ile üretilen gözenekli silisyum ODTÜ Metalurji ve Malzame Mühendisliği’nde tavlanacak ve üst kısımda oluşan gözeneksiz silisyum alt kısımda oluşan geniş boşluktan bir alttaş kullanılarak mekanik gerilim ile kaldırılacaktır. Bu işlem sonucunda üstbirikim ve fotolitografi metodları kullanılmadan ince film silisyum üretilmiş olacaktır. İnce film silisyum üretimi özellikle fotovoltaik sistemlerde çok önemli bir yere sahiptir. Gelen ışığın büyük bir kısmı çok ince bir kalınlıkta soğurulduğundan dolayı standart silisyum pullar bu filmlere göre gereksiz derecede kalın olmaktadır ve bu da malzeme maliyetin yükselmesine yol açmaktadır. Dahası ince film silisyum tabakalar esneklik özelliğini sahip olduğu için farklı uygulamalara izin vermektedir. Bu açıdan uygun maliyetli ve yüksek kalitede silisyum üretimi fotovoltaik araştırmalarının önemli bir parçasıdır