Grup 4 Alaşımlarının Biriktirme-Sonrası Kristalizasyon Yöntemleri ile Cam Üzerinde Büyütülmesi

Bu projede silisyum-germanyum alaşımlı (Si1-xGex) ince filmlerinin cam üzerinde büyütülmesi ve sonrasında farklı yaklaşımlar kullanılarak kristalize edilmesi hedeflenmektedir. Polikristal Si1-xGex filmlerin kompozisyonel ve yapısal özelliklerini hassas bir sekilde kontrol edebilecek üretim tekniklerinin geliştirilmesinin başta ince film güneş gözesi araştırmaları olmak üzere, birçok yarı iletken odaklı teknolojiye katkı sağlaması beklenmektedir.Günümüzde Si1-xGex alaşımlarının potansiyel avantajları bilinmekle birlikte, yapılan çalışmalar çoğunlukla tekli kristal Ge ve Si pul alttaşların üzerine epitaksiyel büyütüme konusuna yoğunlaşmakta, ve bu yönüyle yüksek maliyet ve işlem zamanları gerektiren teknikler incelenmektedir. Projenin temel hedefi laboratuvarlarımızda geliştirilmiş/geliştirilmekte olan cam üzerine polikristal Si film üretim tekniklerini polikristal Si1-xGex filmlere uyarlamaktır. Böylelikle tekli kristale yakın kalitede Si1-xGex filmlerin oluşturulması basit ve ucuz maliyetli yöntemler ile gerçekleştirilecektir