Анализ методом сканирующей зондовой микроскопии микрорельефа покрытий на стекле, нанесенных ионно-ассистированным осаждением

В настоящей работе были проведены исследования поверхностей тонких пленок сплава Al-1.0 ат.% Cr, полученных методом ионно-ассистированного осаждения. В процессе работы был разработан метод исследования данных образцов инструментами АСМ и алгоритм анализа конечных данных. Разработанный алгоритм был успешно применен для анализа изменения топографии поверхности образцов в зависимости от условий их получения