Ultrasonic equipment for contaminatings removal processes from microrelief surfaces of elecro-optical units

Разработаны ультразвуковые ванны, содержащие пьезоэлектрические преобразователи, закрепленные к дну ванн в шахматном порядке в виде решетки треугольной структуры, что обеспечило наиболее равномерное по площади ультразвуковое поле при трехфазном возбуждении преобразователей, подключенных к разным каналам.The ultrasonic baths containing piezoelcectric transducers fixed to bottom of baths in the chess order by the way of a lattice of triangular structure desined that has provided most uniform on the area a ultrasonic field at three-phase excitation of transformers, connected to different channels