Експериментални методи за изпитване на аноден AL2O3 на огъване

Видеков, В. Х.
Банкова, А.
Боряна, Б.
Врублевский, И. А.
Чернякова, К.

Open PDF

Open link

Publication date

January 2015

Publisher

България

Journal

issn:1310-3946

Language

Unknown

Abstract

В настоящия доклад са представени резултати от изпитване на наноструктурирани мембрани, подложени на многократни огъвания. Показани са варианти за паралелно изпитване с цел сравнение на резултатите за различни мембрани. Изпитванията са с цел определяне граничните режими за работа на мембраните при използването им в МЕМС. Ключови думи: наноструктурирани мембрани, механични изпитвания, аноден оксид на алуминий, огъване