Конструкция и технология изготовления системы оптических межсоединений на основе наноструктурированного кремния

Лазарук, С. К.
Лешок, А. А.
Высоцкий, В. Б.
Борисенко, В. Е.

Publication date

January 2016

Publisher

издательство Политехнического университета, Санкт-Петербург

Abstract

Разработана и изготовлена экспериментальная структура интегральных оптических межсоединений на кремниевом кристалле, а также исследованы ее характеристики

Extracted data

We use cookies to provide a better user experience.

Data Protection

Конструкция и технология изготовления системы оптических межсоединений на основе наноструктурированного кремния

Abstract

Extracted data

Конструкция и технология изготовления системы оптических межсоединений на основе наноструктурированного кремния

Abstract

Extracted data

Related items

Related items