Полупроводниковая двухсенсорная микросистема на наноструктурированной подложке для определения концентрации газов в окружающей среде

Разработана конструкция и технология изготовления двухсенсорной газовой микросистемы на подложке из нанопористого анодного оксида алюминия. Исследованы электрофизические характеристики разработанной микросистемы, получены отклики к воздействию активных газов. Design and manufacturing technology of dualsensor gas microsystems on nanoporous anodic alumina were developed. The electrical characteristics of the developed microsystem and responses to the gases were received