Ask
Search
My library

About
Statistics
Contact
Data Protection
Accessibility
Imprint
Changelog
Frontend: v1.31.3
Backend: v1.11.4

We use cookies to provide a better user experience.

Data Protection

Patterning of the submicron CMOS structures with tight CD control specifications using optical microlithography

Коробко, Ю. О.

Publication date

January 2005

Publisher

БГУИР

Abstract

Целью диссертационной работы является исследование влияния ошибок топологии на выходные характеристики ИМС и разработка с помощью фазосмещающих фотошаблонов методов минимизации их влияния на формируемые КМОП структуры с топологическими нормами проектирования 0,25 мкм и менее при использовании фотолитографического оборудования предшествующего поколения

Extracted data

Topics

Related items

Peculiarities of vertical scaling when creating bipolar microcircuits

Пилипенко, В. А.
Понарядов, В. В.
Горушко, В. А.
Шведов, В. С.
Сякерский, В. С.
Петлицкая, Т. В.
Pilipenko, V. A.
Ponaryadov, V. V.
Gorushko, V. A.
Shvedov, V. S.
Syakersky, V. S.
Petlitskaya, T. V.

January 2010

Показано, что использование быстрых термических обработок в технологическом процессе создания инте...

Development of technology of the sensor-zone of electrochemiluminescent microfluidic system fabrication using Langmuir-Blodgette method

К.М. Музика
О.М. Білаш
А.В. Кукоба
Е.Н. Музика
Е.Н. Белаш
А.В. Кукоба
K. Muzyka
O. Bilash
A. Kukoba

January 2007

Розроблено технологію створення сенсорної зони в електрохемілюмінесцентній мікрофлюїдній системі з в...

Method of determining membership functions in system design of microstructure technology transition

Рузметов, Андрей Русланович

January 2014

В статье представлена методика решения проблемы оптимизации затрат вспомогательного времени, связанн...

About circuitry-teсhnic systhesis of the specialized processor

Н.В. Белова
В.Г. Лобода
Р.Я. Умяров
Н.В. Белова
В.Г. Лобода
Р.Я. Умяров
N.V. Belova
V.G. Loboda
R.J. Umyarov

January 2010

На базе результатов системотехнического проектирования специализированного процессора выполняется пр...

Influence of divergence of light and ultrasonic bunches on diffraction efficiency of spatial components of the first and second orders in acoustooptical processors

А.А. Копылов
А.В. Шевченко
Е.Л. Черкашина
О.О. Копилов
О.В. Шевченко
О.Л. Черкашина
А.А. Kopilov
А.V. Shevchenko
Е.L. Cherkashina //

January 2003

Исследуется влияние расходимости светового и ультразвукового пучков на дифракционную эффективность п...

Constructing charts quality of digital devices with the phase control

Кукин, Д. П.
Пригара, В. Н.

January 2012

Рассмотрены принципы функционирования цифровых устройств с фазовым управлением. Предложен метод вы...

Constructing charts quality of digital devices with the phase control

Кукин, Д. П.
Пригара, В. Н.

January 2012

Рассмотрены принципы функционирования цифровых устройств с фазовым управлением. Предложен метод вы...

The forming of high resolution coordinate mesh of discontinuity for the increasing of accuracy of microelectronic equipment motion systems

Огер, В. П.

January 2007

Цель работы состоит в разработке математических моделей и алгоритмов формирования координатной сетки...

Light emitting structures of nanoporous silicon − aluminum for microminiaturized displays

Мохаммед, Абубакар Саддик
Мohammed, Аbubakar Saddiq

March 2020

Цель работы: разработка и комплексное исследование конструктивно-технологических вариантов светоизлу...

Visual-imitating modelling digital system SMP, realizing discrete transformation Hartly

А.А. Замула
Б.В. Волобуев
В.И. Черныш
Ю.В. Землянко
О.А. Замула
Б.В. Волобуєв
В.І. Черниш
Ю.В. Землянко
A.A. Zamula
B.V. Volobuiev
V.I. Chernish
Y.V. Zemlyanko

January 2011

Рассматриваются вопросы, связанные с методологией анализа рисков информационной безопасности при про...

Information-Parametric Methods of Production Technology of the Submicron Integrated microcircuits with Test Structure Application

Емельянов, А. В.

January 2012

Цель работы: разработка конструкций и технологических процессов создания тестовых полупроводниковых ...

Circuit schematic of CMOS rad hardened high-speed logic IC family

Емельянов, В. А.
Калошкин, Э. П.
Силин, А. В.
Шведов, С. В.
Emelyanov, V. A.
Kaloshkin, E. P.
Silin, A. V.
Shvedow, S. V.

January 2007

Обобщены сведения о схемотехнике серии быстродействующих КМОП логических ИС, устойчивых к...

Тhe hybrid circuit of the image analysis

Курбатов, С. С.
Лобзин, А. П.
Найденова, К. А.
Хахалин, Г. К.
Curbatov, S. S.
Lobzin, A. P.
Naidenova, K. A.
Khakhalin, G. K.

January 2012

В работе рассматривается схема анализа изображений, соединяющая преимущества числового и символьного...

EIGENOSCILLATIONS LATTICES OF DIFFERENT DIELECTRIC MICRORESONATORS

Trubin, Alexander Alekseevich

May 2019

ВЛАСНІ КОЛИВАННЯ РІЗНИХ ДІЕЛЕКТРИЧНИХ РЕЗОНАТОРІВ Досліджуються особливості розподілу амплітуд та ча...

Моделирование поляризационно-оптических устройств с напряженными элементами

Тесленко, А. А.

January 2009

A possibility of modeling arbitrary optical devices sequence is investigated. The investigation is p...

Peculiarities of vertical scaling when creating bipolar microcircuits

Пилипенко, В. А.
Понарядов, В. В.
Горушко, В. А.
Шведов, В. С.
Сякерский, В. С.
Петлицкая, Т. В.
Pilipenko, V. A.
Ponaryadov, V. V.
Gorushko, V. A.
Shvedov, V. S.
Syakersky, V. S.
Petlitskaya, T. V.

January 2010

Показано, что использование быстрых термических обработок в технологическом процессе создания инте...

Development of technology of the sensor-zone of electrochemiluminescent microfluidic system fabrication using Langmuir-Blodgette method

К.М. Музика
О.М. Білаш
А.В. Кукоба
Е.Н. Музика
Е.Н. Белаш
А.В. Кукоба
K. Muzyka
O. Bilash
A. Kukoba

January 2007

Розроблено технологію створення сенсорної зони в електрохемілюмінесцентній мікрофлюїдній системі з в...

Method of determining membership functions in system design of microstructure technology transition

Рузметов, Андрей Русланович

January 2014

В статье представлена методика решения проблемы оптимизации затрат вспомогательного времени, связанн...

About circuitry-teсhnic systhesis of the specialized processor

Н.В. Белова
В.Г. Лобода
Р.Я. Умяров
Н.В. Белова
В.Г. Лобода
Р.Я. Умяров
N.V. Belova
V.G. Loboda
R.J. Umyarov

January 2010

На базе результатов системотехнического проектирования специализированного процессора выполняется пр...

Influence of divergence of light and ultrasonic bunches on diffraction efficiency of spatial components of the first and second orders in acoustooptical processors

А.А. Копылов
А.В. Шевченко
Е.Л. Черкашина
О.О. Копилов
О.В. Шевченко
О.Л. Черкашина
А.А. Kopilov
А.V. Shevchenko
Е.L. Cherkashina //

January 2003

Исследуется влияние расходимости светового и ультразвукового пучков на дифракционную эффективность п...

Constructing charts quality of digital devices with the phase control

Кукин, Д. П.
Пригара, В. Н.

January 2012

Рассмотрены принципы функционирования цифровых устройств с фазовым управлением. Предложен метод вы...

Constructing charts quality of digital devices with the phase control

Кукин, Д. П.
Пригара, В. Н.

January 2012

Рассмотрены принципы функционирования цифровых устройств с фазовым управлением. Предложен метод вы...

The forming of high resolution coordinate mesh of discontinuity for the increasing of accuracy of microelectronic equipment motion systems

Огер, В. П.

January 2007

Цель работы состоит в разработке математических моделей и алгоритмов формирования координатной сетки...

Light emitting structures of nanoporous silicon − aluminum for microminiaturized displays

Мохаммед, Абубакар Саддик
Мohammed, Аbubakar Saddiq

March 2020

Цель работы: разработка и комплексное исследование конструктивно-технологических вариантов светоизлу...

Visual-imitating modelling digital system SMP, realizing discrete transformation Hartly

А.А. Замула
Б.В. Волобуев
В.И. Черныш
Ю.В. Землянко
О.А. Замула
Б.В. Волобуєв
В.І. Черниш
Ю.В. Землянко
A.A. Zamula
B.V. Volobuiev
V.I. Chernish
Y.V. Zemlyanko

January 2011

Рассматриваются вопросы, связанные с методологией анализа рисков информационной безопасности при про...

Information-Parametric Methods of Production Technology of the Submicron Integrated microcircuits with Test Structure Application

Емельянов, А. В.

January 2012

Цель работы: разработка конструкций и технологических процессов создания тестовых полупроводниковых ...

Circuit schematic of CMOS rad hardened high-speed logic IC family

Емельянов, В. А.
Калошкин, Э. П.
Силин, А. В.
Шведов, С. В.
Emelyanov, V. A.
Kaloshkin, E. P.
Silin, A. V.
Shvedow, S. V.

January 2007

Обобщены сведения о схемотехнике серии быстродействующих КМОП логических ИС, устойчивых к...

Тhe hybrid circuit of the image analysis

Курбатов, С. С.
Лобзин, А. П.
Найденова, К. А.
Хахалин, Г. К.
Curbatov, S. S.
Lobzin, A. P.
Naidenova, K. A.
Khakhalin, G. K.

January 2012

В работе рассматривается схема анализа изображений, соединяющая преимущества числового и символьного...

EIGENOSCILLATIONS LATTICES OF DIFFERENT DIELECTRIC MICRORESONATORS

Trubin, Alexander Alekseevich

May 2019

ВЛАСНІ КОЛИВАННЯ РІЗНИХ ДІЕЛЕКТРИЧНИХ РЕЗОНАТОРІВ Досліджуються особливості розподілу амплітуд та ча...

Моделирование поляризационно-оптических устройств с напряженными элементами

Тесленко, А. А.

January 2009

A possibility of modeling arbitrary optical devices sequence is investigated. The investigation is p...

Peculiarities of vertical scaling when creating bipolar microcircuits

Пилипенко, В. А.
Понарядов, В. В.
Горушко, В. А.
Шведов, В. С.
Сякерский, В. С.
Петлицкая, Т. В.
Pilipenko, V. A.
Ponaryadov, V. V.
Gorushko, V. A.
Shvedov, V. S.
Syakersky, V. S.
Petlitskaya, T. V.

January 2010

Показано, что использование быстрых термических обработок в технологическом процессе создания инте...

Development of technology of the sensor-zone of electrochemiluminescent microfluidic system fabrication using Langmuir-Blodgette method

К.М. Музика
О.М. Білаш
А.В. Кукоба
Е.Н. Музика
Е.Н. Белаш
А.В. Кукоба
K. Muzyka
O. Bilash
A. Kukoba

January 2007

Розроблено технологію створення сенсорної зони в електрохемілюмінесцентній мікрофлюїдній системі з в...

Method of determining membership functions in system design of microstructure technology transition

Рузметов, Андрей Русланович

January 2014

В статье представлена методика решения проблемы оптимизации затрат вспомогательного времени, связанн...