The forming of high resolution coordinate mesh of discontinuity for the increasing of accuracy of microelectronic equipment motion systems

Цель работы состоит в разработке математических моделей и алгоритмов формирования координатной сетки дискретности высокого разрешения, методики и алгоритмов определения набора оптимальных уровней квантования управляющих токов фаз для повышения точности систем прецизионного оборудывания микроэлектроники без реализации обраных связей по положению в системе управления