Reconfigurable parallel mechanisms for multi-axis motion systems in assembly and optical-mechanical equipment of microelectronics

Цель работы: разработка реконфигурируемых исполнительных механизмов параллельной кинематикис шестью степенями свободы для многокоординатных систем перемещений на презиционных приводах прямого действия для сборочного и оптико-механического оборудывания микроэлектроники, обладающего повышенными совокупными характеристиками точности и быстродействия