Методи та засоби вимірювання параметрів безтигельної зонної плавки кремнію

Представлений аналіз методів та засобів вимірювання параметрів безтигельної зонної плавки кремнію. Обґрунтована математична модель поля яскравості зони розплаву. Представлені результати досліджень параметрів зони розплаву з акцентом на вимірюванні температури. На прикладі вирішення проблеми контролю параметрів електронно-променевої технології безтигельної зонної плавки проілюстровані можливості телевізійних засобів вимірювання. Монографія розрахована на інженерів та наукових працівників, які займаються проблемами електронно-променевих технологій, а також на студентів та аспірантів спеціальності «Метрологія та інформаційно-вимірювальна техніка»