Nous avons étudié les paramètres expérimentaux qui gouvernent les caractéristiques des nanocristaux de silicium (nc-Si) élaborés par dépôt chimique en phase vapeur. La densité des nc-Si dépend essentiellement de la pression partielle du précurseur et surtout des propriétés chimiques du substrat. Des densités de nc-Si très élevées (>10 exposant 12 nc-Si/cm2) sont déposées sur SiO2, Si3N4 et Al2O3. Le contrôle précis, entre 2 et 30 nm, de la taille des nc-Si est obtenu grâce à un procédé original de dépôt en deux étapes. Pour maîtriser la disposition des nc-Si, nous avons exploré deux voies : la nano-manipulation par une pointe AFM et la création de sites de nucléation pour les nc-Si par modification locale du substrat avec un faisceau d\u27é...
Le but de cette thèse a été de mieux comprendre les mécanismes de croissance de nanofils de silicium...
Dans la technologie des semi-conducteurs, le silicium poreux (SiP) trouve un grand intérêt notamment...
Le Silicium est le deuxième élément le plus abondant dans la croûte terrestre après l’oxygène. Il es...
Nous avons étudié les paramètres expérimentaux qui gouvernent les caractéristiques des nanocristaux ...
Depuis la première proposition de 1995 de remplacer la grille flottante en polysilicium des mémoires...
Les nanocristaux de silicium sont des amas sphériques d\u27atomes de silicium, dont le diamètre est ...
Les nanofils de silicium semblent très prometteurs pour utilisation comme éléments d'assemblage des ...
Les nanocristaux de silicium sont des amas sphériques d'atomes de silicium, dont le diamètre est typ...
International audienceLes électrodes élaborées avec des architectures nanométriques sont de plus en ...
Nous avons mis au point une technique de préparation simple et reproductible de nanofibres à base de...
International audienceLes électrodes élaborées avec des architectures nanométriquessont de plus en p...
La microélectronique est au pied du mur. Pour continuer son développement, l'une des voies à l'étude...
Dans le but de protéger les structures microélectroniques, le nitrure de silicium (Si3N4...
De par leurs performances et leur fiabilité, la technologie Flash constitue, à l'heure actuelle, la ...
National audienceLes nanofils (NFs) III-V suscitent un intérêt particulier de par leur fort potentie...
Le but de cette thèse a été de mieux comprendre les mécanismes de croissance de nanofils de silicium...
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Le Silicium est le deuxième élément le plus abondant dans la croûte terrestre après l’oxygène. Il es...
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