Caractérisation par Microscopie en Champ Proche Optique de Composants de l\u27Optique Intégrée

Sujet de recherche en pleine expansion, les composants de loptique intégrée souffraient jusquà ces dernières années du manque dune technique de caractérisation complète et non-destructive. Ce travail de thèse a pour principal but de démontrer lextrême intérêt que présente la microscopie en champ proche optique pour la caractérisation de ces composants fonctionnant dans le domaine des longueurs dondes des télécommunications [1.2 - 1.6 µm]. Nous commençons par de brefs rappels sur la théorie de lélectromagnétisme nécessaires à la compréhension des études menées en champ proche optique ainsi que par lexposé des concepts de base de la microscopie en champ proche optique. Notre travail se focalise ensuite sur la description de notre appareillage de champ proche et notamment sur les modifications que nous lui avons apportées en vue de son utilisation spécifique pour la caractérisation de composants de loptique intégrée. Nous présentons ensuite nos études menées sur des composants basés sur le principe des interférences multimodes (MMI), fabriqués par échange dions sur verre et conçus pour la recombinaison de faisceaux issus de télescopes astronomiques. Nous montrerons alors que la microscopie en champ proche optique permet une caractérisation précise de ce type de composants et un retour fin sur les paramètres physiques déterminant le comportement de ces structures (contraste dindice, excitation modale, paramètres géométriques). Nous présentons en perspectives, les premières mesures effectuées sur des composants nano-photoniques où nous avons mis en évidence la présence dune onde de Bloch se propageant au sein dun guide à base de cristaux photoniques