Instalação e calibração do sistema de spin coating do LDCI

O presente texto é o resultado e continuação da minha Pesquisa de Iniciação Científica, PIC. Com a finalidade de caracterizar e instalar o sistema de cobertura por rotação (spin coating) presente no LDCI (Laboratório de Dispositivos e Circuitos Integrados), filmes finos feitos a partir de soluções de PEDOT:PSS (poli(3,4- etilenodioxitiofeno):poli(4-estirenosulfonato)) e PS:OB 34% foram depositados em substratos flexíveis planares de poliéster testando os três parâmetros variáveis do equipamento: a aceleração angular, o tempo do processo e a velocidade angular. Um procedimento experimental detalhado foi realizado para a obtenção de filmes uniformes e reprodutíveis de espessura e resistência determinadas. Algumas outras técnicas de deposição de filmes finos poliméricos foram brevemente descritas e gráficos contendo os resultados experimentais foram traçados. ______________________________________________________________________ ABSTRACTThis project is the result and continuation of my scientific project (in the program entitled PIC). Aiming the characterization and installation of the spin coating system placed at LDCI (Laboratory of Devices and Integrated Circuits), thin films made of PEDOT:PSS (poly(3,4-ethylenedioxythiophene):poly(4-styrenesulphonate)) and of PS:BO 34% (polysthyrene:buriti oil) were deposited onto flexible planar polyester substrates testing the three variable parameters of this system: angular acceleration, process time and angular speed. A detailed experimental procedure was developed to obtain reproducible uniform films with thickness and resistance determined. Some other coating techniques of polymeric thin films were briefly described and graphics with the experimental data were plotted